Berikut ini merupakan daftar nama mantan Ketua yang pernah menjabat di Pengadilan Agama Salatiga

1. Kyai Sa'dullah (Tahun 1967-1974)
2. Drs. H. Imron ( Tahun 1975- 1980)
3. Drs. H.A.M. Syamsuddin Anwar ( Tahun 1981-1985)
4. Drs. H. Ali Muhson, M.H. ( Tahun 1986-1988)
5. Drs. H. Nuh Muslim (Tahun 1989-1993)
6. DR. H. A. Fadlil Sumadi, S.H., M.Hum (Tahun 1994-1998)
7. Drs. H. Izzudin Mahbub, S.H. (Tahun 1999-2002)
8. Drs. H. Moch. Arifien Bustam, M.H. (Tahun 2002- 2004)
9. Drs. H. M. Fauzi Humaidi, S.H., M.H. (Tahun 2004-2005)
10. Drs. H. Ahmad Achrory, S.H. (Tahun 2006-2008)
11. Drs. H. Masruhan MS., S.H., M.H (Tahun 2009-2011)
12. Drs. H. Umar Muchlis (Tahun 2012- 2020)
13. Drs. Khairuddin, M.H. (Tahun 2020-2021)
14. Fahruddin, S.Ag., M.H. (Tahun 2021-2022)
15. H. Abdul Halim Muhamad Sholeh, Lc., M.Ec., M.H. (Tahun 2022-2024)
16. Adil Fakhru Roza, S.H.I., M.H. (Tahun 2024-2026)
17. Muh. Safrani Hidayatullah, S.Ag., M.Ag. (Tahun 2026-sekarang)